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无油涡卷式真空泵
无油涡卷式真空泵为小尺寸、高性能及低成本的组合，设计用于清洁制程中快速、实用的真空泵，不适用于易爆裂、易燃、有毒、腐蚀性物质或含有粉末颗粒的制程使用。
于潮湿环境中抽取冷凝蒸气或从大气压力抽至真空(例:如果相对湿度超过60％)，您必须先使用泵所附带的气镇。该泵是借由气冷搭配时数器以冷却。重量轻、无油且只需偶尔的日常维护。
产品细项
ISP 250C
产品特色
极限压力低
抽气速度快
零污染，无须油保养
高性价比
**入口压力达 760 Torr
ISP-250C 无油涡卷式真空泵 规格图
ISP-250C 无油涡卷式真空泵 技术资料
替换率 | |
50 Hz | 15 m3h-1 / 8.8 ft3min-1 |
60 Hz | 18 m3h-1 / 10.6 ft3min-1 |
**抽气速度 | |
50 Hz | 12.5 m3h-1 / 7.3 ft3min-1 |
60 Hz | 15 m3h-1 / 8.8 ft3min-1 |
**真空度 | 1.6 x 10-2 mbar / 1 x 10-2 Torr |
入口连接 | NW25 |
出口连接 | NW16 |
电机功率 | 0.4 kW |
电源供应 | |
1-phase, 50Hz | 200/230 V |
1-phase, 60Hz | 110/115V |
噪音程度 | 58db (A) |
震动程度 | 1.5 mms -1 |
防护等级 | IP44 |
密封性能(静态) | 10-4 mbar l s-1 |
作动温度范围 | 5 to 40ﾟC / 41 to 104ﾟC |
重量 | |
1-phase pump | 25 kg / 55 lbs |
ISP-250C 无油涡卷式真空泵 应用
扫描式电子显微镜
离子植入（电子束及终端装置）
一般清洁的抽真空应用
溅镀
涡轮分子泵的前级泵
稀有气体再循环
胶材干燥
旋转蒸镀设备
离心浓缩
真空炉
手套箱
真空腔体粗抽使用
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